簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "化學工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="榖胺酸感測器"


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    應用於生物感測器之植入型微電極陣列探針製備與微影光罩改良
    • /102/ 碩士
    • 研究生: 余政霖 指導教授: 曾婷芝
    • 本研究利用半導體製程技術研發製備植入型微電極陣列探針,其中所應用的半導體製程包括加熱、微影、薄膜、蝕刻等,並針對每個步驟進行最佳化,進而製備出精密、微型、高產量、低成本的微電極陣列探針。製程主要可分…
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